【ご来訪御礼】SEMICON(R) Japan Virtual スウェージロック社

さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー

Swagelok 原子層蒸着(ALD)用バルブは、高速開閉と再現性に高い作動機能を有し、非常に優れたサイクル・ライフを実現します。さらなる微細化・高度化へのニーズに対応すべく、大流量・高温用途向けの「ALD 20」を製品ラインアップに追加しました。ALD（原子層蒸着）用途での性能を最適にするため、 アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。 【特長】 非常に優れたサイクル・ライフを実現 高速の開閉機能 （オープン／クローズに要する時間は5ミリ秒未満） 高温下でも安定した流量と再現性を実現 膨潤とコンタミネーションへの耐性を高め、シール性能の優れたシート 流路から障害物を一掃し、たまり部分を最小限に抑えるボディ・デザイン ＜3つの課題に 超高純度用 ALD20バルブ＞ 1. 大流量：既存ALDバルブのほぼ3倍にあたる最大1.7Cvの流量係数を実現（当社比） 2. 高温：アクチュエーター部分を含め、バルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することが可能 3. 高性能：耐食性に優れているため、腐食性の高い流体も使用可能

• バルブ

スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブ

DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の 溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用する CMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に 抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの 完全性、長いサイクル・ライフを促進します。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸が透過する可能性を最小に低減しています。同製品は、高い耐化学薬品性と純度を実現するために、接液・接ガス部に、次世代フッ素樹脂、デュポン(R)テフロン(R)を採用しております。さらに、「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合しています。

• バルブ

優れた断熱性と柔軟性を兼ね備えたホースで課題解決。多様なラインナップであらゆる設備や装置に対応

半導体デバイス製造の世界では、特に精度と清浄度が優先されます。 スウェージロックのホース製品は、低温流体の移送、高圧・高温環境や真空環境での使用など、幅広いニーズに対応する製品ラインアップで、長期的な使用を実現します。 【特長】 ■優れた耐久性 ■柔軟性に優れ、レイアウトの自由度が高い ■薄く、断熱性に優れた断熱材を採用しているため、従来の半分の口径 ■高い断熱性を保持するため、CO2削減や省エネ対策に貢献 ■必要な長さによる納入が可能で、取り付け作業コストや在庫コストを削減 ■色分け可能なポリオレフィン製カバーにより、目視でのライン識別が可能

• ホース

付加価値の高い流体システムを構築！高い技術力と専門知識で、お客さまのビジネス・ニーズを満たします。

配管ユニット製作サービス「カスタム・ソリューションズ」は、流体システムにおいて実績を持つスウェージロックが、 取り扱い製品にお客様のご要望に沿った組立/加工を施して提供するサービスです。 配管の曲げ加工や溶接などの基本的な作業はもちろん、必要に応じて他社の製品を調達し、組み込むことも可能です。 【特長】 ■一貫した品質および信頼性 ■迅速かつ有効なサービス ■高い技術力およびアプリケーションに関する専門知識 ■付加価値の高いアセンブリー ■優れたプロセスおよび手順 ■すべての製品およびサービスに付帯する保証 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 管継手

低圧ヒューズ『SBFC-MS』は、一時的な過電流には耐え、継続的な過電流でのみ 切れる特性を持つスローブローヒューズ(Slow Blow Fuse)です。 自動車においては、電流が瞬間的に大きくなる機器に対して特に有効。 自動車業界や建機業界、低圧ヒューズ(DC70V以下)の回路保護に 関する課題を持っている方にお勧めです。

包装工程のピンホール検査を完全自動化し、一定の品質基準をもとに包装不良を排除します。判定結果や稼働状況は、モニタ画面により管理することができます。 ・ピンホール検査工程の品質基準を定量的に管理 ・製品の有効期間の品質を確保 ・製造工程の評価基準を確立、定量的な品質保証を実現 ・スリムな省スペースで既存の生産ラインに接続可能 ・品種切替のための段取り替えは、チャンバの交換により短時間で対応可能 ・完全国内生産だから、メンテナンスやトラブル対応も迅速に対応します ・対象ワーク例：ピロー包装、包装米飯(パックごはん)、等 ※本製品の医薬品での対応はご相談下さい

●電空レギュレータ（電空レギュレーター）とは？ 制御再現性が±0.1％の能力を備えた自社開発の電空レギュレータです。 小流量から、大流量まで幅広いラインアップをそろえています。 ●レギュレータ（レギュレーター）とは？ リークテストで使用するテスト圧力の調整にご利用ください。 安定したテスト圧力を供給することで、より高精度な測定が可能になります。

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