『VDM300』脱イオン水蒸気デリバリーモジュールをリリース
ITWジャパン株式会社
先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDM300は、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。
VDM300の特長
1.流量レンジ:3 slpm(DIW蒸気)
2.優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定
3.プラント内純水供給装置に直接接続
4.最低温度(非過熱状態)でも動作可能
5.水洗および排水用に最適な設計
6.EtherCATデジタルコミュニケーション
7.Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース
https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/about-us/news/2019/japan-pr201904-vdm300datasheet
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