お客様の仕様に合わせたカスタム加工のMEMS向けキャビティSOIウエハー(CSOI)
アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社
このCSOI基板は、弊社ベルファスト工場の長年の経験と技術によるエッチングや貼り付けで加工されたシリコンウエハーです。100~150mmのサイズで提供いたします。お客様の個別仕様に基づくカスタム製品でお届けし、デバイス層、ハンドル層、酸化膜層や埋め込みキャビティのオプションが可能です。これにより、IceMOSのCSOIウエハーは、以下のようなMEMSアプリケーションで高評価を頂いております。:
♦ジャイロ/慣性センサー
♦ 圧力センサー
♦マイクロ流体デバイス
♦マイク
♦スピーカー
♦ 加速度計
♦ オシレーターおよび共振器
受注後納期12-18週間です!
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