フロン対策はお済みですか?『ThermoRack1201』
エムエス機器株式会社
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきを改善。
主要エッチャーメーカーの製品に対応。
温度制御部は7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに
不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。
詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
このニュースへのお問い合わせ
Webからお問い合わせこのニュースの詳細・お申し込み
詳細・お申し込み