半導体や液晶などに要求される45nm以下の超微粒子除去
CPU内臓により出力の集中コントロール 作動状態のフィードッバックが可能な、高周波超音波洗浄機
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基本情報
【特徴】 ○3桁のデジタル表示により 常時作動状況の管理が可能で高精度な管理が可能 ○発振状態表示は、上下限異常表示が行え、その接点出力も可能 ○独自のPLL方式により液の種類、液深 液温（最高70度）等が変わっても自動で最適な周波数を発振 ○高効率発振が可能 ○65nm以下の微細パターンに対し、ダメージの少ない2MHzを採用し 200mmウェーハ、300mmウェーハに対応 ○洗浄ムラない ○パワー密度が非常に高く、洗浄能力が優れる ○板厚が厚く、機械的強度に優れて長寿命。洗浄槽への組込みも安心 ○石英槽に直接振動子を接着した石英超音波槽を商品化 従来の二重槽式に比べ強力な超音波を照射 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○Siウェーハ、GaAs ○液晶ガラス ○ガラスマスク ○ハードディスク ○水晶振動子 ○薄膜磁気ヘッド ○脆性材料等 ○その他超精密洗浄
企業情報
カイジョーは、1948年の創業以来培ってきた超音波技術を基盤に、最先端のエレクトロニクス／メカトロニクス技術をタイムリーに採り入れることにより、顧客ニーズにフィットした超音波のトータルソリューションをグローバルに提供しています。 ODM事業部はこれら基盤技術をこれまで以上に幅広く様々なお客様にご活用して頂くことを目的としています。 ・ 受託開発(ODM)は一台から承ります。 ・ お客様のご要望に応じた振動子、発振器を製作します。 ・ クリーンルームを備えた実験・評価設備を保有しており、試作品の評価環境も充実しています。 ・ 一部お貸出機も用意しております。ご発注の前にお客様によるご評価も可能です。 ・ 松本事業所(長野県)において、ISO13485取得・医療機器製造業登録済みの製造ラインを保有。 ■ お問い合わせ電話(直通) 042-555-2398 ■ お問い合わせメール odm-info(at)kaijo.co.jp＜(at)を＠に変更してください＞