高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ
Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。 ユーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）および、ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーション向けの5軸ステージ（E5AT）の2種類のラインナップがあります。 LTシリーズは、最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。広い動作範囲（最大30cm）と非常に細かい動作分解能（最小0.25nm）を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード（分解能）を切換えながら操作します。LTシリーズのラインナップは、サイズ・可動範囲・エンコーダーの有無によって区別されます。
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基本情報
FIB向け カーテン効果防止4軸ステージ（ACT）： FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）は、X・Z・回転・傾斜の4つの動作軸を備えたポジショニングツールで、サンプルを±90度傾けることができ、さらにFIB / SEMの試料ステージを使用してステージ全体をFIB角度に傾けることができます。 ユーセントリック5軸ステージ（E5AT）： ユーセントリック5軸ステージ（E5AT）は、サンプルを無制限に回転させ、対象領域をユーセントリック位置に維持しながら、サンプルを±90度に傾斜できるように設計された5軸ポジショニングツールです。 LTシリーズ： LT シリーズはサブナノ分解能を持った超小型精密位置決めステージです。 最小サイズが 33mm 角と非常に小型で、狭スペースへ取付けが可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムーズな動作で試料の位置決めを行えます。メカニカルステージに見受けられるバックラッシュやガタ付きがなく、セルカウンティングやスティッチングなどの用途に極めて有効です。超高真空や低温装置にも利用可能です。
価格情報
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納期
用途／実績例
● 電子顕微鏡(SEM/FIB) ● 電子線描画装置 ● 真空実験装置 ● 低温実験装置
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企業情報
国内、海外のネットワークを通じて、近赤外線・遠赤外線カメラ、マシンビジョンおよび交通監視用・組み込み用エンベディッドカメラ、画像入力ボード、研究・非破壊検査用のX線フラットパネル、電子顕微鏡周辺装置として真空下でコンタミの予防・除去が可能なプラズマアッシング装置、含水試料などを容易にイメージングする為のSEM/FIB用クライオ装置、マイクロマニピュレーター、ピエゾ位置決め装置など、工業用／サイエンス用問わず、用途目的に合わせパーツからシステムに至るまでお客様にご満足いただける製品を提供しています。