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マイクロマニピュレータ「MM3A-EM」は、SEM / FIB装置に更なる付加価値をもたらします。「観る」ことが主体の顕微鏡に、「測る」「操る」といった機能を与え、顕微鏡をミクロの作業場として利用することが可能になります。 ● サブナノ動作分解能 + 広い動作範囲 ● コンパクト・シンプルな設計 ● 優れた安定性 ● フレキシブルな取付け ● プローブ機能
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基本情報
MM3A-EMは、電子顕微鏡（SEM/FIB）装置内に取付けされます。微動モード（nm動作分解能）と粗動モード（長距離移動用）を併せ持ち、ナノスケールの超微細動作を広い領域で行えます。 ● 操作系にジョイスティック(PS2)を採用することで、誰にでも直感的な操作が出来ます。 ● 非常にコンパクト・シンプルな設計で、既存のSEMやFIBに容易に後付けが出来ます。 ● MM3A-EMの先端には市販のタングステンプローブやガラスピペットが装着されます。オプションでグリッパーやカンチレバーなどもあり、自作ツールを保持させることも可能です。 ● プロービング機能を併せ持ち、SEM/FIB装置内で微小サンプルに直接プローブを接触させ、電気特性評価に利用できます。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
■使用環境 電子顕微鏡(SEM/FIB)、真空装置、低温装置 ■用途 ・マニピュレーション ・電気特性評価（プロービング） ・TEMサンプルピックアップ/サンプリング ・スクラッチ/マーキング ・応力/引張り測定、インジェクション、グリッパー
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企業情報
国内、海外のネットワークを通じて、近赤外線・遠赤外線カメラ、マシンビジョンおよび交通監視用・組み込み用エンベディッドカメラ、画像入力ボード、研究・非破壊検査用のX線フラットパネル、電子顕微鏡周辺装置として真空下でコンタミの予防・除去が可能なプラズマアッシング装置、含水試料などを容易にイメージングする為のSEM/FIB用クライオ装置、マイクロマニピュレーター、ピエゾ位置決め装置など、工業用／サイエンス用問わず、用途目的に合わせパーツからシステムに至るまでお客様にご満足いただける製品を提供しています。
