画期的設計 (特許)のコリオリ式質量流量センサを採用
計測が困難とされる小流量の液体分野において 比類ない高精度とゼロ安定性を提供する、液体・ガス用マスフローコントローラ
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基本情報
【特徴】 ■コリオリ式質量流量センサの採用により、流体の種類や プロセス変量(粘度、密度等)の影響を受けることなく流量を測定することが可能 ■メーカー：ブルックスインスツルメント株式会社 ■仕様：精度±0.5% Rate オプション±0.2% Rate ■流体名：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール範囲内で、ご注文時にご指定 ■最高圧力：3.4MPa オプション10MPa、30MPa ■本体材質：SUS316L、バイトン、カルレッツ他 ■入出力信号：0〜5V、4〜20mA □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
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企業情報
高圧ガスの高圧（一般的には15MPa：150kg/cm2）から超高真空の真空領域（1x10-9Pa：1x10-11TORR）までの機器（規格品・製作品）をご提供いたします。また、高温領域（2300℃）から極低温領域（-270℃）の雰囲気を装置としてご提供できます。具体的には高温真空熱処理炉や真空低温実験装置までご相談により設計・製作致します。もちろん各種機器のユーティリティー配管、雰囲気用ガス・プロセスガスもご用意させていただきます。何なりとご相談ください。