高速オートフォーカス機能により 高速高精度検査を実現した、半導体素子外観検査装置
半導体素子外観検査装置（高速オートファーカス機能付き） インライン/オフラインに対応
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基本情報
【特徴】 ○半導体素子(ウェハーチップ)外観検査の全項目を自動検査 ○高速処理 1秒/1視野計測(XY移動及びオートフォーカス制御含む) ○インライン/オフラインに対応 ○検査対象・検査項目により柔軟なカメラ構成選択が可能 ○充実した検査結果データ管理機能を搭載 ○参考仕様 1計測視野：5mm×6mm、画像分解能：2.5μm、オートフォーカス精度：±1μm ○検査機能 パターン欠け・バリ/線幅・ピッチ幅計測/キズ・汚れ/異物付着 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報
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企業情報
有史以来、人類が積み上げてきた文明に、次の一層の生活様式を求め、技術革新が計れています。 その一方で地球環境と人の心や文化に問い直しも求められております。 私たちはこの“科学技術の進歩”と“人間生活の調和”にロマンを求め、「異体同心」と成ってサービスと情報と技術の提供に限りない創造の徴力を尽くします。
