各種測定器とXYステージを連動させてワーク全体の測定を行いたい。
【ニーズ】 分光器、膜厚計、接触角計、レーザー変位計などの測定器を使って、ワーク全体のデータを取得したい。 【改善事例】 各種測定器とXYステージを連動させて、ワーク全体の測定を自動で行います。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。 (測定データの取得・保存機能は測定器側に必要になります。)
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【ニーズ】 分光器、膜厚計、接触角計、レーザー変位計などの測定器を使って、ワーク全体のデータを取得したい。 【改善事例】 各種測定器とXYステージを連動させて、ワーク全体の測定を自動で行います。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。 (測定データの取得・保存機能は測定器側に必要になります。)
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