圧倒的スペック(30mW/cm2 )の装置。研究・開発の時間短縮、従来以上の効果等で新しい領域の開拓が期待できる装置です。
UV表面処理(UV洗浄・UV改質)装置 の最高峰。大学・企業研究室への納品実績も多い標準機をベースに開発、性能と使いやすさを両立させました。 ステージ160x160 30mW/cm2(254nm)ランプ搭載。30cm角程度のスペースに設置可能。照射距離を簡単に調整できるジャッキ・テーブル付き。インターロック(オプション)付きもご用意しています。
EUVシリーズ
UV表面処理(UV洗浄・UV改質)装置 の最高峰。大学・企業研究室への納品実績も多い標準機をベースに開発、性能と使いやすさを両立させました。 ステージ160x160 30mW/cm2(254nm)ランプ搭載。30cm角程度のスペースに設置可能。照射距離を簡単に調整できるジャッキ・テーブル付き。インターロック(オプション)付きもご用意しています。