流量センサとバルブの機能を一体化させ、冷却水等の水量をマイコンにより自動制御。
■ マイコン制御による流体流量のコントロール。流量設定値に合わせて、バルブ開度を自動調節。 ■ ＬＣＤ/ＬＥＤ表示機能により、流量/設定値/制御状態を確認できる。 ■ 流量に対する警報設定が可能。 ■ 全閉入力により、バルブを全閉することが可能。 ■ ユーザー機器との接続に便利な各種レベルの入出力信号の供給が可能。プロセス制御に応用できる。
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基本情報
■ マイコン制御による流体流量のコントロール。流量設定値に合わせて、バルブ開度を自動調節。 ■ ＬＣＤ/ＬＥＤ表示機能により、流量/設定値/制御状態を確認できる。 ■ 流量に対する警報設定が可能。 ■ 全閉入力により、バルブを全閉することが可能。 ■ ユーザー機器との接続に便利な各種レベルの入出力信号の供給が可能。プロセス制御に応用できる。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
半導体製造装置、FPD製造装置、工作機械など装置の冷却水制御などに使われています。
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
リガルジョイントは、1974年の創業以来、【技術・サービス・開発力】をモットーに 数々のオリジナル製品の開発や技術提供を行っています。特に半導体装置の製造を 主軸とした流体機器分野の各種装置及び継手類の設計・製造、真空機器の開発・製造 における当社の技術力は、化学から機械、電気、電子、建設、情報処理といったあら ゆる最先端分野で活かされています。 またこれまでに培った技術を基に、オゾンを利用した脱臭・殺菌・水質浄化装置の 開発・製造事業を新たに立ち上げました。 国際標準規格であるISO9001 ISO14001認証取得企業として、これからも高品質・高 性能で環境に配慮した製品やサービスの提供を推進します。