分光放射照度測定をはじめ、多様なアプリケーションにお応え致します
■ 物質、屈折率、消衰係数を入力するだけで、簡単に膜厚測定が可能 ■ 膜厚範囲：10nm〜 ■ 真空チャンバー中でのモニタリングも可能 ■ 測定項目の径時変化測定により、コーティング過程モニタリングが可能
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基本情報
アヴァンテス社薄膜測定システムは、干渉スペクトルと物質のn、k値をもとに膜厚を計算するものです。システムの構成は、マルチチャンネル分光器をベースに、重水素ハロゲン光源、入射光・反射光ファイバープローブ、豊富なデータベースをもつ専用ソフトウェアからなります。ソフトウェア上で、物質を選択し、n、k値を入力するだけで、簡単に単層膜厚の測定が可能です。主な用途に、プラズマエッチングやデポジションプロセスのモニタリングが必要とされる半導体基盤、金属への透明コーティング、ガラス基盤などです。オプションでアダプターとファイバーと組み合わせれば、真空チャンバー中でのモニタリングも可能です。 システム構成例 ■ 分光器: 高感度分光器AvaSpec-2048-USB2、200nm〜1100nm ■ 光源: 重水素ハロゲン光源、200nm〜2500nm ■ アクセサリー: リフレクションプローブ、薄膜測定ステージなど ■ ソフトウェア: 薄膜測定用ソフト、プロセスコントロール用ソフト、エクセル出力用ソフトなど
価格情報
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納期
用途／実績例
■ プラズマエッチングやデホジションプロセスの必要な半導体基盤 ■ 金属へのコーティング ■ ガラス基盤
企業情報
【取扱製品】 ■光計測（ギガヘルツオプティック社 DKD/PTB公認 ドイツ） ・LED光測定器（光束/照度） ・照度/放射照度計 ・輝度計 ・光束計 ・UV線量計 ・透過率測定器 ・カラーメーター ・パルス波形分析メーター ・ノイズメーター ・レーザーパワーメーター ・積分球 ・標準光源 ・標準反射板（反射・拡散材料） ・較正サービス ■分光測定（アバンテス社 オランダ） ・分光器 ・光源 ・ファイバー ・アクセサリー ■蛍光観察（クロマテクノロジー社 アメリカ） ・シングルバンドフィルター ・デュアルバンドフィルター ・トリプルバンドフィルター ・その他光測定器、光測定器関連