必要最低限の機能に絞り込み、コストの低減や省スペース化を可能としました。【アルバック／ULVAC】
G-TRANシリーズ大気圧ピラニ真空計 SW1は、大気圧から5 × 10-2 Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。 さらにこの真空計は従来のコントローラ（センサユニット）から操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や｢省スペース化｣を可能としました。 【ラインナップ】 ○SW1-1/SWP-16 ○SW1-2/SWP-R1/8 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能 ○耐衝撃性に富んだ設計構造 ○フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用 ○測定子とセンサユニット一体により省配線、省スペースを実現 ○異常を確認できるLEDを搭載 ○大気圧調整、ゼロ点調整がワンタッチで可能 ○測定子の交換が容易 ○圧力は0〜10VのLog出力を標準装備 ○真空計の取付姿勢によらず精度が±20％以内（特許第4878289） ○大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能 ○NW16仕様（SWP-16）に加え、 テーパネジR1/8仕様（SWP-R1/8）をラインナップに追加 ○セットポイント2点の出力可能（SW1-1） ○RS232C/RS485通信が可能（SW1-2） ○CE標準対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造 装置の低真空領域のプロセス制御用に ○炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に ○インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種 製造装置の低真空領域のプロセス制御用に ○振動・衝撃のある各種真空排気ライン用に ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。