真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。【アルバック／ULVAC】
革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計です。 各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。 真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。 【特徴】 ○表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能 ○簡単操作 −One Click 機能・・・だれにでも簡単。複雑な操作は不要 ○リークテスト機能の充実 ○全圧測定が可能 ○Qulee QCSソフトウエアが標準搭載 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○コストパフォーマンス抜群 →RGA用途に最適 ○表示部一体型の設計 →PCレスでも測定可能 ○簡単操作 →One Click機能（だれにでも簡単、複雑な操作は不要） ○ベーキング対応 →センサユニット接続時で最大120℃の高温ベーキングが可能 （センサユニット分離状態：250℃） ○デガス機能搭載 →電子衝撃脱離方式の採用 ○予防保全機能の充実 →イオンソース、二次電子増倍管の予防保全 分析管のトレサビリティ機能の搭載（特許第5016031号） ○リークテスト機能の充実 →ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能 ○全圧測定 →全圧測定が可能（電離真空計機能） ○Qulee QCS対応 →ソフトウェアが標準搭載（Windows XP/7対応） ○QIP（Quick Install Package system）のオプション可能 →自動測定開始／終了／データ保存機能 ○適合規格 →CE標準対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○太陽電池・FPD・半導体などの各種製造装置の残留ガス分析 ○PVD装置、真空蒸着装置など成膜装置の残留ガス分析 ○巻取蒸着装置の残留ガス分析 ○有機EL装置の残留ガス分析 ○高真空排気装置の残留ガス分析 ○凍結乾燥装置の残留ガス分析 ○研究開発向け各種ガス分析 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
