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半導体製造装置用フォーク

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最終更新日:2026年06月02日

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軽くて撓まない、更に振動減衰性能も向上!

●お客様の仕様に応じて、さまざまな形状に加工を承っています。 外観からは窺い知れませんが、内部は井桁構造や発泡体構造で、真空配管を埋設することも可能です。 アルミ製同一寸法と比較した場合、 振幅幅、減衰時間とも大凡50%の改善が期待できます。 ●ロボットフォークの多くはスカラ方式を採用していますが、 一つのコマンドから次のコマンドへ移る際、振動が収束しなければなりません。 この一連の動作がタクトタイムとなり、生産効率の指標となります。 炭素繊維は固有振動数が非常に高いため、これ等の用途には適した素材と言えます。 ★詳細は、資料請求もしくは資料をダウンロード下さい★

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半導体製造装置用フォーク.JPG

半導体製造装置用フォーク

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半導体製造装置用フォーク.JPG
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◆比剛性/アウトガス特性/振動減衰特性 ◇ウェハー搬送フォーク

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三協製作所は、汎用プラスチックスから炭素繊維強化プラスチックス(CFRP)に 代表される先端複合材料や各種金属、無機材料まで幅広い取扱材料と 51年間に亘り培われたかこう製造技術を活用し、 産業機器全般に採用されている慣用的な部品から宇宙・電波・航空機器などの 先進性のある高機能構造体まで多様化するニーズと、お客様の求められる課題に的確にお応えして参ります。 FRP構造体(部品)のワークフローとしては、 『お客様からの構想図→解析→設計→製造→検査/試験→納入』の流れとなります。 FRPに関することなら WEB窓口 k.suzuki@sankyo-ss.co.jpまで お気軽にお問い合わせください。実働24時間以内の回答を心がけています。 (WEB窓口:鈴木)

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