イオン注入装置ディスク再生サービス
イオン注入装置のエンドステーションディスクは長時間にわたるイオン照射により、ウエーハへのパーティクル付着、元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力の低下やウエーハ脱着の不具合といった、問題が生じます。 定期的なディスク再生を行うことにより、装置の稼働率、製品の歩留向上につながります。
イオン注入装置のエンドステーションディスクは長時間にわたるイオン照射により、ウエーハへのパーティクル付着、元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力の低下やウエーハ脱着の不具合といった、問題が生じます。 定期的なディスク再生を行うことにより、装置の稼働率、製品の歩留向上につながります。
