イオン注入装置ディスク再生サービス
イオン注入装置のエンドステーションディスクは長時間にわたるイオン照射により、ウエーハへのパーティクル付着、元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力の低下やウエーハ脱着の不具合といった、問題が生じます。 定期的なディスク再生を行うことにより、装置の稼働率、製品の歩留向上につながります。
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基本情報
Core社は、15年以上にわたり世界各国のイオン注入装置用ディスク再生の実績を持ち、自社工場にイオン注入装置を１９台保有し、イオン注入サービスも手掛けるイオン注入No.1企業です。 イオン注入装置を知り尽くした企業だからこそ、最適なディスク再生を低コストでご提供します。各種装置に対応しておりますので、お問合せ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
高電流イオン注入装置 高エネルギー注入装置
企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。
