超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触による汚染無し！エアーブローからの汚染リスク無し！
従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率
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基本情報
＜超音波で浮上する原理＞ 超音波 非接触 浮上・搬送技術は、スクイーズ膜浮上効果により 超音波発生器とフラットな基板との間にエアフィルムによる強い反発力を生じさせます。そのため、摩擦を起こさずにワークピースを移動させることができます。力のプロファイルは、従来のエアー式浮上テーブルの一種と似ています。ただし、超音波による浮上システムには、圧縮機・コンプレッサーは不要です。この超音波技術は、圧力を発生させるために界面周囲の空気または（プロセス）ガスを利用します。この技術は半導体業界では、ウエハーの搬送、太陽電池業界では、ウエハー・モジュール・フラットパネル、電池業界では電極・極板の非接触搬送、ロールtoロールでは、非接触・超低摩擦ガイドロールなどの応用分野があります。
価格帯
納期
用途／実績例
用途 ■電池の電極・極板 ■半導体ウエハーおよび構成部品 ■太陽電池ウエハーおよびモジュール ■TFT（薄膜トランジスタ） ■平板皮膜ガラス（小型から大型まで） ■MEMSおよびMOEMS ■バイオチップ ■機械加工表面 ■特殊皮膜およびラッカー塗装シート ■傷つきやすい部品 ■印刷シート、紙、フィルム
企業情報
産業機械専門の輸入商社として「海外のパートナー、そしてお客様にご信頼頂けるサービス」をモットーに提供して参りましたロジスティクスとアフターサービスは、国内・海外ともに高い評価を頂いております。 お探しの装置・設備等ございましたら、当社取扱製品に限らず、お気軽にお問い合わせください。