大掛かりな改造も時間の短縮が可能
架台のユニット化により装置コンフィング等の大掛かりな改造も時間の短縮が可能
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基本情報
【特長】 ○オートハンドラーによる枚数ロット同時処理 ○各槽温度コントロール機能付き ○鏡面反転機構 ○ハーフピッチ処理対応 ○ファイナル槽に比抵抗値モニタリング ○ウェーハマッピング機能 ○カセットストッカーが可能 ○様々な追加機能をご用意 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧いただくか、お問い合わせください
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企業情報
セファテクノロジー株式会社は、産業用省力化装置の製造・販売、ソフトウェア開発等に関わる企業として、地球環境の保全が人類共通の最重要課題の一つであるととらえ、企業活動の全てについて地球環境保護に配慮した事業活動を行ない社会に貢献します。