ナノ領域を自在に操る!
Nano Manipulation Stageは、粗微動一体の自社製アクチュエータ【SPPA】採用による、ゼロバックラッシュを実現した小型ステージユニットになります。電子顕微鏡の標準ステージ上へ容易に搭載可能で、試料を観察しながらナノ領域の電気的な特性評価や超微細作業が可能となります! 【特徴】 ○分解能 1nm以下 ・位置決め精度の最小分解能が1nm以下を実現しておりますので、 電子顕微鏡下での超精密作業に申し分ない性能を有しております。 ○幅広いカスタム性・多彩なバリエーション ・電子顕微鏡に本ユニットを複数搭載する事で多軸化を図ることが可能となり、 様々な用途に対応が可能なユニットとなっております。 特殊仕様、カスタマイズにも対応致します!! ○粗微動一体のアクチュエータ【SPPA】採用によるゼロバックラッシュの実現 ・SPPA(Super Precision Piezo Acutuator)とは、一つの圧電素子にて連続 ステップ動作(粗動)、圧電素子の直接動作(微動)が可能な画期的なアクチュエータです!!
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基本情報
【仕様】 ○ナノマニピュレーションステージ ・外観寸法:64mm×55mm×62mm ・重量:約550g ・粗動:X軸15mm、Y軸15mm、Z軸10mm ・粗動分解能:10nm(クローズ制御時) 約500nm以下(オープン制御時) ・微動:X/Y/Z軸1.0um(分解能1nm以下) ●特殊仕様対応の専用カスタマイズにも対応致します。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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株式会社三友製作所は設計から機械加工、組立調整まで、一貫した生産形態をもつ企業であり、特に、独自な技術を有する精密加工部門そして、ユニークな発想で自動化を提案するラボ・オートメーション部門は、お客様からも高い評価を受け続けております。 電線ケーブルの評価試験機、工業計器製品、自動車関連部品、医用・分析機器、そして、マイクロファブリケーション関連製品などさまざまな製品を扱っております。