直径３ｍまで対応可能なＬＥＤ等の全光束測定用積分球
積分球サイズは直径3ｍまで対応可能な、全光束積分球 SLMシリーズ
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基本情報
【全光束システム構成】 ■積分球：6～125inch(150～3000nm) ■NISTトレーサビリティ付き標準光源 ■自己吸収補正光源 ■標準光源用 安定化電源 ■サンプルマウントステージ(温調ステージについてはご相談下さい) ■CarlZeiss社製 高分解能高感度分光装置 Solid Lambda CCD ■石英光ファイバー ■サンプル光源用 電源(標準光源用電源と併用可能であれば省く) □その他機能や詳細については、カタログをご覧下さい。
価格情報
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企業情報
光測定を主に利用し、各種非破壊非接触測定及び半導体製造プロセス検査（膜厚測定、プラズマモニターなど）をおこなうデバイスをオンライン、オフライン両方に開発
