試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします!
『スパッタリングコーティング(成膜)サービス』は、低音高速マグネトロン スパッタを利用したアシストサービスです。 試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします。 各種CVD・EB蒸着・イオンプレーティングも承ります。 立会作業も別途ご相談下さい。 【特長】 ■低音高速マグネトロンスパッタの利用が可能 ■3カソード方式で3層まで同一真空内で積層可能 ■基板加熱300度まで可能 ■基板の材質・形状に関わらず投入可能 ■膜付・パターン付など加工済基板の投入も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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