デモ機貸出中!超音波専業メーカーの半導体の薬液向き非接触流量計。高価な液体もいっさい無駄に致しません
超音波気体流量計で長年培ってきた測定技術を駆使して開発した、 センサクランプオン型の超音波液体流量計です。配管外壁から管内部に超音波を発信させ 液体の速度によってセンサー間の超音波伝搬時間が変化することを利用して 流量に換算します。センサは液体に非接触です。 【特長】 ・微少流量の測定が可能 ・1秒間に300回測定で高応答を実現 ・センサ部分が流体に非接触構造(ストレートチューブ)採用 ・広いレンジアビリティー ・優れた応答性 ※詳しくは PDF ダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい ※無料デモ機貸出をご希望の方は,お問い合わせフォームからお問い合わせ下さい。
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用途/実績例
IPA・純水・薬液等の半導体製造工程における微小領域の流量管理に コスト管理・品質管理に
ラインアップ(1)
型番 | 概要 |
---|---|
μLF-300S | 検知部分離型 |
カタログ(3)
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超音波計測技術を核とした、気象観測機器・海象観測機器・液体流量計・気体流量計・界面計・魚群探知機などを開発、製造しています。