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特殊炭素製品 半導体製造用プロセス装置

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最終更新日:2022年08月02日

メルセン・エフエムエー株式会社 本社
メルセン・エフエムエー株式会社 本社
  • 公式サイト

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の多くの産業向けに様々な製品を供給しています。

グラファイトは耐熱性及び耐腐食性が必要な用途に最適な材料です。 特に液体薬品や化学ガスを使用する用途では、耐腐食性の高いグラファイトの使用が不可避です。

    その他半導体製造装置
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特殊炭素製品 半導体製造用プロセス装置

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基本情報

【特徴】 ○熱伝導性及び導電性が高い ○高温時にも強度が高く、高温発熱が可能である ○化学ガス及び高温での腐食に強い ○自己潤滑性がある ○熱膨張が小さく、熱衝撃に強い ●詳しくはお問い合わせ下さい。

価格情報

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用途/実績例

コーティング製品は主に半導体製造工程で多く使用されます。 高温で酸化雰囲気の場合はSiCコート、均熱性を重視する場合はパイロ・コートが使用されます。 最近では通常のコーティングではなく、ガラス状カーボンを含浸してコーティングする方法が選択される場合があります。

企業情報

メルセン・エフエムエー株式会社

メルセン・エフエムエー株式会社 本社

その他製造

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電話番号・住所

メルセン・エフエムエー株式会社は、炭素黒鉛製品の世界的リーダーであるメルセン・グループ(フランス)の100%出資による日本法人会社です。 主な取扱製品である「等方性黒鉛」は、多種多様な産業に必要とされる素材です。 メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の多くの産業向けに様々な製品を供給しています。 メルセン・グループ(旧名カーボン・ローレンヌ・グループ)は、1892年に設立されたカーボン及びグラファイト(人造黒鉛)製品のパイオニアす。 今日では、世界50ヵ国以上の国々に直接子会社を持つ、炭素黒鉛製品・半導体保護用ヒューズ類の総合メーカーです。

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