次世代装置にも対応
縦型反応管用大型電気炉で大口径化に対応
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【特徴】 ○火加工製品の溶接加工では、製品サイズによって、バーナーの形状や口径が選択され、 溶接後は、速やかに電気炉でアニール処理（焼きなまし）が行われます。 ○蔵王工場では、ウェーハの大口径化に伴い、縦型装置部品用の大型電気炉やガラス旋盤を保有し、 各種反応管やウェーハ保持用ボート類への対応が可能です。 ○近年の微細化プロセスに対応すべく製造環境のクリーン化や、洗浄技術の向上が行われ、 品質と信頼性でお客様に貢献します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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用途／実績例
縦型反応管。300mmウェーハ反応管 複雑な溶接の大型横型反応管 縦型ボート 高精度溶接ベルジャー その他
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最先端の半導体・液晶・光学分野を支える石英ガラス。 当社は石英ガラス加工において独自の技術のノウハウを駆使し大型加工製品から微細加工製品まであらゆるニーズに対応しております。また、セラミックやシリコン金属の洗浄も行っております。テクノクオーツは高品質の石英ガラス製品を通じ、さらなる最先端技術の発展に貢献してまいります。
