200～400工程…複雑な半導体製造のプロセスを支える石英ガラス製品
半導体製造工程に多用される石英ガラス・シリコン製品
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【特徴】 ○透明で、高耐熱性、高耐酸性、抜群の機械強度を特性に持つ石英ガラス製品は、 半導体製造プロセスに欠かせません。 ○テクノクオーツ社の製品は、半導体製造の前工程加工装置に多数採用されています。 ○成膜用各製品を始め、プロセス周辺機器である各種ヒーター、分析装置等あらゆる工程で テクノクオーツ社製品が使用されます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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用途／実績例
半導体製造・前工程 ・ウェーハ洗浄 石英角槽、石英ボート、超純水加熱装置、クオーツヒーター、デフロンヒーター ・成膜 石英反応管、石英ボート、管状ヒーター ・エッチング 石英リング、石英ベルジャー、マントルヒーター、ラバーヒーター ・拡散 石英反応管、石英ボート、管状ヒーター ・薄膜形成 石英反応管、石英ボート、管状ヒーター、角状ヒーター
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企業情報
最先端の半導体・液晶・光学分野を支える石英ガラス。 当社は石英ガラス加工において独自の技術のノウハウを駆使し大型加工製品から微細加工製品まであらゆるニーズに対応しております。また、セラミックやシリコン金属の洗浄も行っております。テクノクオーツは高品質の石英ガラス製品を通じ、さらなる最先端技術の発展に貢献してまいります。