プラスチックパッケージや液晶基板、ハイブリッドICなどの表面クリーニングに最適なバッチ式のプラズマクリーナーです。
反応室内に電極棚を複数段装備できるため、小型部品からFPD用角型基板に至るまでさまざまな形状の基板の多数処理が可能です。また、三種類の処理モード（RIEモード、プラズマモード、ダウンストリームモード）を選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理を行うことが可能なプラズマクリーナーです。
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基本情報
【特徴】 ○三種類の処理モード（RIE、プラズマ、ダウンストリームの各モード）を選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理が可能 ○大型の電極棚を複数段装備できるため、量産処理が可能 ○全自動運転が可能 ○コンパクト設計 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
【用途】 ○プラスチックパッケージ、液晶基板、マルチチップモジュール、ハイブリッドICなどの表面クリーニング ○光学部品などの精密洗浄 ○繊維や高分子材料などの表面処理 ○フォトレジストアッシング ○インクリムーバル ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
企業情報
ナノレベル~マイクロレベルの薄膜形成および加工の技術に優れ、研究開発用途から生産用途までの装置・技術提供に定評があります。加えまして、今後の市場拡大が見込まれております光源(LED・半導体レーザ)などのオプトエレクトロニクス分野に特化しております。