R&Dからパイロット生産に最適なナノインプリント入門機RubiQ
複雑なR&Dの課題に応えるため、RubiQ Type RD-100は、熱・UV両方に対応可能な樹脂硬化方式、および成型のための加圧方式等を柔軟性の高いモジュール構成で実現します。またパイロット生産で要求される高いタクトと同時に、クリーン対策も提供しています。 お客様個々の開発ステージにあったご提案をさせて頂きます。 SCIVAX（サイヴァクス）微細加工事業本部（電話：044-599-5051、メール：nil-contact@scivax.com）までお問合せください。
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基本情報
【特徴】 ○量産への最大の課題である高い再現性を実現 ○小面積から大面積まで様々なワークサイズの一括転写に対応 ○高い拡張性 ○廉価なRubiQ Type RD-100から、各種取り揃えております。 ●その他機能や詳細については、SCIVAX（サイヴァクス）微細加工事業本部（電話：044-599-5051、メール：nil-contact@scivax.com）までお問合せください。
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安価にナノサイズの微細加工を行うには、装置は勿論のこと、光学設計・金型・材料・ナノインプリント・エッチング・検査といった様々な要素技術が不可欠です。弊社は様々な分野の技術者を擁し、お客様が必要とする各要素技術の提供が可能です。 光学用途や電子用途などのお客様の様々なニーズに対して、一歩も二歩も踏み込んだトータルなサポートを行っております。微細加工、特にナノのウェハ加工をご検討の際は是非ご一報ください。