水分や酸素を嫌う試料に金属を真空蒸着するための、試料準備・真空搬送ホルダーです。
グローブボックスと真空蒸着装置の間に試料を大気に晒さずに真空搬送することができます。 特 徴： ・真空チャンバー構造を有する試料ホルダー ・コンパクトサイズで、グローブボックスの中に搬送可能 ・グローブボックス中での真空排気が可能 ・真空蒸着装置ではチャンバーの蓋が自動解放 ・オプションで、試料ホルダー回転機構を追加可能
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基本情報
【特徴】 ○300mmφウェハーやA4サイズの大面積基板にも対応 ○精密膜厚モニターにより、サブナノレベルの薄膜から、数百nm以上の厚膜まで成膜可能。 ○小ロットも対応。
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
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用途／実績例
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企業情報
カーボンナノチューブ、ナノ材料、ナノテクノロジー分野において、市場ニーズの変化に追随し、 常に技術の最先端の位置を目指して、日々研究開発を進めております。 また、市場の多様なニーズに応えるために、幅広い知見と能力を身に着ける努力を続けております。 お客様の目的や要望を十分に理解し、目標達成のための最短距離を能動的に提案できるよう 常に心がけているつもりです。当社が蓄えてきた力を尽くすだけでなく、チャレンジすることによって 新たな知見と能力を獲得しながら、仕事に取り組んでいます。 ナノテクノロジーの進歩によって、数多くのイノベーションが生まれてきました。 ナノの不思議と魅力はまだまだ多く深く潜んでいます。 当社も、ナノテクの進歩に寄与し、イノベーションの創出に貢献していきたいと思います。