加熱・冷却機能付きポーラスチャック

最終更新日：2011年04月15日

株式会社吉岡精工

吸着しながら、加熱・冷却実験が可能！！

吸着しながら加熱実験（プローブ実験、加熱耐久実験等）を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で２５０℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能であります。

・加熱冷却の繰り返しで耐久試験などに最適・ポーラスチャックをネジ止めするだけのシンプル構造・各種サイズにも対応可能

50万円 ~ 100万円

詳細はお問い合わせください

・ウエハーレベルでのボンディング・真空中での半導体製造プロセス・熱硬化によるウェハーの貼り合わせ技術・ウエハーの通電テスト

試験・分析・測定

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