燃焼式のパイオニア
●CVD、Dry Etcherからの様々な排ガスに対応。 ●ガスレシピに応じてG型F型をラインナップ。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
●G型GUARDIAN 1.火炎過流で大流量も完全燃焼 2.優れた粉体処理 3.ガス導入は大口径のマルチポート 4.あらゆるガスを導入可能 5.シンプルで取扱いが簡単 6.短時間の立上げで排ガス処理が可能 ●F型GUARDIAN 1.PFCガスを99%以上分解 2.高温燃焼可能なバーナー 3.低燃費 4.シンプルな構造 5.Dry Etcherの排ガス処理に最適 6.優れた腐食対策 7.卓越した高温技術 8.後段のスクラバーでHFを除去
用途/実績例
半導体製造メーカー、液晶パネル製造メーカー
企業情報
小池は1918年(大正7年)の創業以来、「ガスエネルギー」を利用した工作機械のオピニオンリーダーとして、基幹産業発展の一翼を担って参りました。 その間、時代の進歩とともに、他に先駆けて「プラズマ」「レーザ」を利用した切断機を開発し、NCによる高度な自動システムを製品化して参りました。また同時にお客様のあらゆるご要望にお応えできるよう、「ガス・溶接・切断から関連機材まで」一貫したトータルシステムとしての体制を確立するに到っております。