ディスク等の媒体材へのコーティングに最適
本装置は、ディスクやウエハーに、塗布液のフィルタリング循環機構を備えたディップコーティング装置です。 冶具を使用して一度に大量のディスクをディップコート(ディップコーティング)できます。また、少量のディップコート液のテストができるサブタンクを併設しています。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター装置です。
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基本情報
【主仕様】 1.ストローク 219mm 2.対象サイズ 1.8、2.5、3.5inchディスク 3.対象材質 ディスク&ウエハー 4.ディップ速度 1μm/sec～40mm/sec 5.塗布液循環部 有 6.塗布液温度管理 有 7.フィルターメッシュ 0.05μm 8.乾燥部 無 9.乾燥温度 無 10.ヘパユニット 有 11.装置サイズ(概寸) W:1404×D:900×H:1940mm
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途／実績例
ディスクやウエハー
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企業情報
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