SiCは共有結合性が強いセラミックスで、アルミナを上回る硬度があります。特に高温強度に優れており、耐食性も優れています。
硬度が高いため、摺動摩耗に強い特性も兼ね備えています。 熱伝導率も高いです。 炭化珪素(SiC)は、半導体製造装置やLED製造装置などのチャンバー内部品、エッチング装置用基板トレーや、焼成用治具(コンデンサー他） などに使われています。 炭化珪素(SiC)は、耐熱（1,000度以上でも）性や耐薬品性（耐プラズマ性）、耐磨耗熱伝導率の良さ、緻密さ、強度が生かされています。 こんな使い方はいかがでしょうか→SiCでの薄型製品化が可能ですから、熱効率が良く、トレーやセッターとしてご利用を検討下さい。 電子基板用の焼成炉セッターなどに、薄いSiC板での対応が可能です。
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基本情報
アスザックでは、一般的な炭化珪素(SiC)の他に、高純度炭化珪素(SiC3N)のグレードも用意してございます。 高純度炭化珪素(SiC3N)の特長と詳細がございますので、用途に応じてお選びください。 ◆高純度炭化珪素(SiC3N)とは、上記炭化珪素（SiC）の純度が99．9％のものです。 通常炭化珪素(SiC)の特性、高強度、高耐熱性、耐摩耗性等を活かしたまま、重金属成分の含有量を数ppmに抑えました。厚い物や大型品にも対応可能です。 通常の炭化珪素では汚染が気になるなどの用途に適しています。 常圧焼結での作製なので成膜法より安価です。
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用途／実績例
電子基板用の焼成炉セッターなどに、薄いSiC板での対応が可能です。
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企業情報
アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部では、 ●トップクラスの大型アルミナ板品を製造できます ◇全長３ｍ超えるアルミナ板品を素材販売から希望形状の加工まで対応可能です！ ●トップレベルの加工技術で、炭化ケイ素（SiC）を短納期で製作致します ◇高純度品も取り揃え、量産が可能です。特に板形状は得意としております！ ●小ロットでも、単品でも対応させて頂きます ◇VE、VA提案もさせて頂きます！ ファインセラミックス（アルミナ、炭化ケイ素SiC、ジルコニア、低熱伝導セラミックアルシーマ、ブラックアルミナ、多孔質アルミナ等各種セラミックス）の開発・製造・加工・販売を行っております。 企業HPはこちらをご覧下さい（http://www.asuzac-ceramics.jp/）