最新のCMOSensTM技術により開発されたマスフローコントローラー
センシリオン社の全てのマスフローコントローラーはパテント取得済みのCMOSens 技術を用いています。 シングルチップに高精細なカロリメトリックマイクロセンサ（MEMS）素子と増幅器及びA/D変換回路を単一のCMOSチップ上に一体化しています。デジタルでキャリブレートされ温度補正されたセンサ信号は直接CMOSensチップ上でPWM信号に変換され、バルブを制御する高速のアナログ制御回路で使用されます。この結果、非常に高精度、速い設定時間、広いダイナミック・レンジが実現されます。すべてのデバイスはNISTトレーサビリティーに基づき校正されています。
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基本情報
＜SFC4000 マスフローコントローラー＞ 【特徴】 ●制御速度 ＜100ms ●高精度 セットポイントの0.8％ ●ダウンマウント、Swagelok、VCRまたはVOCフィッティング ●デジタルキャリブレーション＆温度補償 ＜SFC3000 OEMマスフローコントローラー＞ 【特徴】 ●測定範囲：0～±100Pa、分解能±0.001pa/0.04pa ●応答時間：150ms ●繰り返し精度：±0.02％FS ●動作温度範囲 0～70℃ ●電源：7～18VDC ●RS232C/SPIインターフェース ※その他詳細については、カタログをダウンロードください。
価格情報
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用途／実績例
【用途】 分析装置、バイオ、マイクロ化学、メディカル用途や各種プロセス制御、 OEM用途に最適。
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企業情報
センシリオンのミッションは、優れた設計と信頼性を備えたセンサーおよびセンサーソリューションを提供し、お客様にとってのナンバーワンのパートナーになることです。テクノロジーインテリジェンスを活かしてセンサー技術の水準を引き上げることを目指しています。そうすることで、人々や企業のサステナビリティ、効率性、健康、安全、生活の質の向上に貢献します。パートナー企業やお客様と協力し、イノベーションを通じて自動車産業、産業部門、建築およびHVAC技術、医療技術、家電製品の未来を長期的に形成していくという共通の目標を日々追求しています。 センシリオンは1998年に設立し、現在はスイスのシュテファにある本社と世界各地の多数の子会社に約1,000人の従業員が在籍しています。