ターゲットは大きい試料もそのままコーティング可能な４インチサイズ。
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報
【主な特徴】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。 ○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。 ○４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。 ○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。 ○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。 ○膜純度の向上に活躍。 ○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
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用途／実績例
【用途】 ○電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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企業情報
スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ照射装置、CVD装置、真空コンポーネントを製造しております。 電子顕微鏡試料作成用の前処理装置や研究開発機関向けの小型真空装置をラインナップしております。 私たちは、最先端技術研究開発分野で活躍されている方々の必要な機器開発を、早く・廉く供給し、実験過程で逐次改良､改造を加えて開発のサポートをして行くこともわが社の如く小回りの利く会社の任務と考えています。 半導体、バイオ、環境、ナノテク分野の新技術開発に必要な実験器具・装置の開発、及び新技術開発の最先端解析道具としての電子顕微鏡試料作製に関わる装置の開発、製品化、販売、サービスを行っております。
