8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチはマグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング厚さのムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。コーティング電圧500V以下で、イオン衝撃によるダメージを軽減。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報
【主な特徴】 ○マグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。 ○コーティング厚さのムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。 ○コーティング電圧500V以下で、イオン衝撃によるダメージを軽減。 ○標準ターゲット金属は白金(Pt)。 ○イオンシャワー電極(オプション)で機能の追加。 【その他の特徴】 ○シリコン基板の大型化にお応えする200mm径の大面積試料ステージをマグネトロンターゲット電極で実現。 ○試料ステージの大型化で、8インチウェーハや多数のSEM用試料を同時にコーティングすることが可能で、検査作業を効率化。 ○マグネトロン型電極は、ターゲット金属の表面に沿って平行な磁場を形成し、プラズマ放電によって 発生する電子をこの磁場に閉じこめ、雰囲気ガスのプラズマ化を促進します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
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用途／実績例
【用途】 ○高分解能SEM検査に適しています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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企業情報
スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ照射装置、CVD装置、真空コンポーネントを製造しております。 電子顕微鏡試料作成用の前処理装置や研究開発機関向けの小型真空装置をラインナップしております。 私たちは、最先端技術研究開発分野で活躍されている方々の必要な機器開発を、早く・廉く供給し、実験過程で逐次改良､改造を加えて開発のサポートをして行くこともわが社の如く小回りの利く会社の任務と考えています。 半導体、バイオ、環境、ナノテク分野の新技術開発に必要な実験器具・装置の開発、及び新技術開発の最先端解析道具としての電子顕微鏡試料作製に関わる装置の開発、製品化、販売、サービスを行っております。