業界初！リアルタイムでプラズマのバックグラウンドを分析！エンドポイントモニタとしても応用可能。驚きの低価格OESソフトウェア
大阪大学との産学共同開発で実現！ 業界初の、リアルタイムでプラズマの連続スペクトルによるバックグラウンドを分析するシステムです。 これにより、リアルタイムで分子の変動を監視することができ、プローブ法より早く電子温度推測が可能になりました。 ターゲット分子は自由に設定できますので、プラズマだけでなく幅広い分野に応用可能です。 エンドポイントモニタとしての機能も搭載していますので、製造現場にも活用いただけます。 分光器とソフトウェアのセットで大変お求めやすい価格で導入いただけます。
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基本情報
【特徴】 ■リアルタイムでプラズマの連続スペクトルによるバックグラウンドを分析 ■リアルタイムで分子の発光強度を分析 ■リアルタイムで分子比率を分析 分光計測データから、バックグラウンド、分子の発光強度、分子の発光比率をリアルタイムで分析、グラフ表示します。 全体の発光強度から、連続スペクトルによるバックグラウンドを分析し、そこからターゲットとなる分子の輝線スペクトルの発光強度を割り出します。 また、２種類の分子の発光強度の比率をリアルタイム分析することにより、プラズマＣＶＤ炉などの気相状態のコントロールに役立ちます。 ◎カスタマイズで機器へのフィードバック制御も可能です。 ■その他詳細についてはカタログをご覧ください
価格情報
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納期
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用途／実績例
【用途】 プラズマCVD炉の監視 エッチング スパッタリング 医療・食品の滅菌監視 その他エンドポイントモニタとして
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
装置制御、生産ライン監視や分析・計測システム開発の豊富な実績を元に、太陽電池の特性評価計測やＥＬ画像分析、表面分析、プラズマエミッションモニタリング等のソフトウェア開発を手がけています。 太陽電池においては評価のノウハウがありますので、新規参入企業様に最適なシステムをご提案させていただきます。 また分光分析ソフトウェアは太陽電池の他、半導体や医療、食品など多分野で応用可能です。 カスタマイズに柔軟に対応いたしますので、お気軽にご相談ください。 納入先は国内・国外の大手メーカー様、公的研究機関、官公庁等で、ユーザー様からは「今までで最も使いやすいソフト」という評価をいただいております。 また、「システム化は不可能」と言われる分析のシステム化にも成功するなど、難易度の高い分析・計算を得意としており、航空業界向けの高精度・高速計測や防衛用途システムの実績もございます。 装置の同梱ソフトウェア、タイアップ販売 また研究機関の共同開発にも積極的に対応させていただきます。
