熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電）電源です。
・負荷短絡時、高速で出力を停止させる内部保護機能付 ・高速立上がり、短パルス幅を実現
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基本情報
直流(充電）電源です。 真空プロセスから、各種バイアス用電源、集塵機などにも採用されている電源です。
価格情報
仕様により異なりますので、お問い合わせください。
納期
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用途／実績例
・真空プロセス装置用電源 ・ＤＣバイアス用電源 ・集塵機用電源
ラインアップ（5）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 直流電源（＋３００Ｖ／３３．３Ａ） | 受電電圧:3相AC200V 50/60Hz 出力電圧:0～+300V 出力電流:0～33.3A 出力電力:10kW 出力精度:±0.5%以下 定電圧安定度:±0.5%以下 出力リップル:±0.5%以下 制御方式:出力電圧一定制御,出力電流一定制御 表示:出力電圧,電流表示 保護機能:過電流・過温度保護回路,ヒューズ断線検出回路 サイズ(mm):480W×249H×600D |
| 直流電源（＋７５０Ｖ／１５Ａ） | 受電電圧:３相ＡＣ２００Ｖ ５０／６０Ｈｚ 出力電圧:０～＋７５０Ｖ 出力電流:０～１５Ａ 出力電力:１１．２５ｋＷ 出力精度:±１％以下 定電圧安定度:±１％以下 出力リップル:±１．５％以下 制御方式:出力電圧一定制御,出力電流一定制御 表示:出力電圧・出力電流表示 保護機能:過電流・過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路 サイズ（ｍｍ）:４８０Ｗ×２４９Ｈ×５８６Ｄ |
| 直流電源（－１ｋＶ／１０Ａ） | 受電電圧:３相ＡＣ２００Ｖ ５０／６０Ｈｚ 出力電圧:０～－１ｋＶ 出力電流:０～１０Ａ 出力電力:１０ｋＷ 出力精度:±１％以下 定電圧安定度:±１％以下 出力リップル:±１．５％以下 制御方式:出力電圧一定制御,出力電流一定制御 表示:出力電圧・出力電流表示 保護機能:過電流・過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路 サイズ（ｍｍ）:４８０Ｗ×１９９Ｈ×６００Ｄ |
| 直流電源（－２ｋＶ／５Ａ） | 受電電圧:３相ＡＣ２００Ｖ ５０／６０Ｈｚ 出力電圧:０～－２ｋＶ 出力電流:０～５Ａ 出力電力:１０ｋＷ 出力精度:±１％以下 定電圧安定度:±１％以下 出力リップル:±１．５％以下 制御方式:出力電圧一定制御,出力電流一定制御 表示:出力電圧・出力電流表示 保護機能:過電流・過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路 サイズ（ｍｍ）:４８０Ｗ×１９９Ｈ×６００Ｄ |
| 直流電源（－２２ｋＶ／３７０ｍＡ） | 受電電圧:３相ＡＣ２００Ｖ ５０／６０Ｈｚ 出力電圧:０～－２２ｋＶ 出力電流:０～３７０ｍＡ 出力電力:８ｋＷ 出力精度:±１％以下 定電圧安定度:±０．５％以下 出力リップル:±１％以下 制御方式:出力電圧一定制御,出力電流一定制御 表示:出力電圧・出力電流表示 保護機能:過電流・過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路 サイズ（ｍｍ）:４８０Ｗ×２４９Ｈ×５８６Ｄ |
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長年培ってきたパルス電源技術を応用し、 新開発の各種プラズマ制御用電源や 表面処理装置の開発で、必ず御社のニーズに お答えします。
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