ナノメートルの位置検出・厚み測定などに最適。もとの物理量を正確に知る測定器
変位、振動、厚さ等の物理量を非接触のプローブにより検出し、それを電気量に変換して、もとの物理量を正確に知る測定器を非接触式変位計、厚さ計と呼んでいます。測定方式により静電容量方式、レーザー方式、光ファイバ方式等があります。ナノメートルの位置検出、姿勢制御、平面度、厚み測定、精密モータ、ハードディスク、各種ディスクなど幅広い用途でお使い頂けます。詳しくお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特長】 ○レーザー方式(光ヘテロダイン) →超高分解能、超高速応答、干渉計ならではの高性能 →測定スポット径70μm ○静電容量方式/高速応答モデル(アクティブ型) →極細Φ0.1mmプローブ/高速応答 →小型の対象を測定可能/高速の変位測定に対応 →多種多様なプローブ ○静電容量方式/高安定モデル(パッシプ型) →高分解能、高安定、小型プローブ ○光ファイバ方式 →厳しい環境下の測定 →高温、高磁界、油中 →高速応答 ○レーザー方式(三角測量型) →広い測定範囲 →設定距離が大きい →低価格 ●詳しくお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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