負圧制御が可能な絶対圧減圧弁でダイヤフラム径の大きな高感度タイプです！
44-4600シリーズは、陽圧の入口圧を真空から0.2MPaAの圧力に減圧可能な 絶対圧調整器で、大気圧付近の圧力調整が必要な用途に最適です。ダイヤフラムは同心円の波形をもち高感度な圧力制御を生み出します。この調整器は高純度ガス供給システム用に設計されており、接ガス部は316ステンレス、テフロン、エルジロイのみで構成されているため、腐食性のガスにもご使用いただけます。 【特徴】 ・高性能なメタルダイヤフラムシール ・高純度ガスや腐食性のガスにもご使用いただけます ・オプションで最大入口圧力は24.1MPaまで対応 ・オプションでドームロードまたはエアロードタイプも選択可能
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基本情報
本体材質：SUS316製 最高入口圧力：2.76MPaG （オプション品でMAX24.1MPaG対応品もあり） 2次側調整圧力：0.006～0.20MPaA CV値：0.24 ・様々なオプション品あり ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体ガス供給装置
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企業情報
■■■セミコンジャパン2026に出展します■■■ 2026年12月9日から11日まで、東京ビッグサイトにて 開催されるセミコンジャパンに出展します。 商品の展示もございますので、ぜひお越しください。 東京ビックサイト 東展示棟１階 Ｅ２１０２ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ TESCOM圧力調整器 HOKE製バルブ、GYROLOK継手 Unuted Electric社製Precision sensors製品 mott製高純度フィルター 半導体製造装置向けの圧力調整器、フィルター、差圧計なども幅広く取り扱っています。
