DLC膜の様々な改質を可能としたDLCコーティング装置!超精密金型や高速摺動部品等の少量多品種から大規模生産まで対応!
低摩擦係数で高硬度を持つDLC膜の成膜を基本とし、加えて幅広いアプリケーションに対応すべく、DLC膜の様々な改質を可能とします。超精密金型や高速摺動部品等の少量多品種から大規模生産まで、また、研究開発機として数多くの実績を持ちます。 【ラインナップ】 ■NANOCOATシリーズ:単層DLC膜 成膜装置 ■DASHシリーズ:多層化DLC膜 成膜装置 ■NPSシリーズ:PS2システム標準 成膜装置 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
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基本情報
【ラインナップ】 ○NANOCOATシリーズ:単層DLC膜 成膜装置 ○DASHシリーズ:多層化DLC膜 成膜装置 ○NPSシリーズ:PS2システム標準 成膜装置 【DASHシリーズ装置仕様】 ○基板ホルダー:自公転式(標準 下置型 特注製作も可能) ○搭載可能イオン源 →DLCイオン源・HCDガンユニット・スパッタリングシステム →アーク放電システム・EBガンユニット ○到達圧力:6.7×10-4Pa以下 ○排気速度:6.7×10-4Pa以下まで30分以内 ○基板加熱機構:オプション(シースヒーター、ランプヒーター等) ○基板バイアス電圧:MAX 3.0kV ○装置制御:レシピ画面設定による完全自動運転 ○真空系:ターボ分子ポンプ + ロータリーポンプ ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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私共は平成元年に「プラズマ」と「真空」の技術に夢を追いかけナノテック株式会社を設立致しました。現在これらの技術を用いて、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)を始めとしたコーティング技術の開発を行っております。DLCコーティング技術の多くはドリル、金型、機械部品などへ応用され、産業の「縁の下の力持ち」的な技術とも言えます。日本が「技術立国」として成り立っているのは、このような表面には出ない素晴らしいテクノロジーが存在し、高性能、高品質の製品が生み出されるからと考えます。ナノテックがお客様のニーズに長期間に渡り応えていくためには社内制度の充実がカギであり、ここで働く人たちの発想や行動こそが活気溢れる企業風土を作り、お客様への信頼のある対応につながると考えます。この環境を作り上げる事をなによりも大切なものとして現在取り組んでいます。