エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニタ【アルバック／ULVAC】
Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕様】 ○質量 排気系：57 kg ／制御系：38 kg ○電源電圧 AC100V 15A ○圧縮空気 Dry N2 : 0.4 ～ 0.7MPa（φ6ワンタッチ継手） ○One Click機能 あり／ He/H2O/N2/O2/Any gas ○PCインターフェース RS-232C/485 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○反応性プロセス中で長時間安定した測定が可能 ○磁場をもつクロードイオン源の採用 ○ソフトなイオン化でガスの解離が少なく、 感度が高いイオン化室での熱反応による分解、吸着を防ぐ ○コンパクトな流路制御バルブ ○プロセス室からイオン源までの距離を短くし、 速いレスポンスでの分解が可能 ○10-6 to 13kPa幅広い圧力での測定が可能（オリフィス選択による） ○PCレスでも測定可能 ○One Click機能（だれにでも簡単、複雑な操作は不要） ○センサユニット接続時で最大120ºCの高温ベーキングが可能 ○イオンソース、二次電子倍増管の 予防保全分析管のトレサビリティ機能の搭載（特許出願中） ○ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能 ○ソフトウェアが標準搭載（Windows XP/7対応) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○プロセス中の反応ガスのモニタ ○エッチングやクリーニングプロセスのエンドポイントモニタ ○残留ガス測定 ○リークテスト ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
