各種線源やトランスデューサなどを装着し真空中を移動させられます。
直線導入機(中空型) ZLTMシリーズはチャンバー取付けフランジとシステムフランジがベローズで接続された、中空型の直線導入機です。各種線源や、トランスデューサなどを装着し、真空中を移動させることができます。詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
【主な特長】 ○チャンバー取付けフランジとシステムフランジがベローズで接続 ○中空型の直線導入機 ○真空中を移動させることが可能 →各種線源や、トランスデューサなどを装着 ○駆動方式:手動式、モーター駆動式 ○駆動距離:25 ~ 100mm ○フランジ:ICF70 ●詳しくはお問い合わせください。
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