薄膜膜厚・ヤング率測定装置
非接触、非破壊でウェハー基板上の薄膜膜厚、膜のヤング率、 ポアソン比を測定することができる。
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基本情報
パルスレーザーを薄膜表面に 照射し、薄膜上で熱に変換されたエネルギーが 薄膜を熱膨張させる。 局所的に膨張した薄膜表面では音響振動が発生する。この音響振動の周波数 を物理モデルに導入し薄膜の膜厚やヤング率、ポアソン比を算出する。
価格情報
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納期
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用途／実績例
・膜厚測定スループット: 55 枚/ 1 時間（1 パラメータ測定） 9 点測定（パターン認識ありの場合） 光学系 ・繰り返し再現性σ: 膜厚: 0.25％ ヤング率: 0.5％ （Low-k 膜） ・光学系: プローブスポットサイズ: 15×30 μm 励起音響波長: 2×11 μm ・ロードポート FOUP, SMIF, or OC; dual ・ミニエンバイロメント Class 1000 のクリーンルーム環境でClass 1 対応 ・オートメーション GEM 300, SEMI 300mm, SEMI S2-0200, and CE 等に準拠
企業情報
Semilabは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです。 半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーター、フォトルミネッセンス、DLTSシステム、シート抵抗測定装置、ナノインデンター、AFMなどを取り扱いしています。 装置の仕様や価格などお気軽にお問合せ下さい。