耐熱性・耐圧性に優れたインライン用途の液浸プローブです。
プロセス制御用 液浸プローブは、耐熱性・耐圧性に優れたインライン用途の液浸プローブです。測定ヘッドの材質(一枚板の石英SUPRASILまたはサファイア)により大きく2タイプに分けられます。迷光を最小限に抑えることができます。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○耐熱性・耐圧性に優れたインライン用途 ○測定ヘッドの材質(一枚板の石英SUPRASILまたはサファイア)により大きく2タイプ ○迷光を最小限に抑えることができます ○EN10291-1準拠のフランジ取り付けが可能 ○耐熱260℃ 耐圧3.5MPaを満たす ○プローブ先端のOリング(測定ヘッドシーリング)にFFKM材質を使用することで耐薬品性も強化 ○プラントや生産工場などのインラインで実現 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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企業情報
光測定を主に利用し、各種非破壊非接触測定及び半導体製造プロセス検査（膜厚測定、プラズマモニターなど）をおこなうデバイスをオンライン、オフライン両方に開発
