単対物用のオートフォーカス顕微鏡です。 フォーカスステージつきでこのまま装置に取り付けるだけでAF顕微鏡となります。
特徴 1. 各種光学系に組込できるV型です。 2. ソフトで1μ以下の合焦精度でピントを自動制御します。
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基本情報
顕微鏡や画像検査用のオートフォーカス装置です。光学系の倍率が高くなるほど映像の焦点が甘くなります。また、試料変形や移動精度でも合焦精度が低下して画像検査の精度を低下させます。オートフォーカス装置はこれらの問題を解決します。ソフト制御なので操作が簡単で±1μm以下の 合焦精度で変化に追従します。
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