ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置
ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置です。 電動XYステージでワークを移動させても常に合焦画像でのパターンマッチング検査ができます。ファイルデータから座標を制御して検査に最適な倍率で試料高さのオートレビュー画像ファイル機能もあります。 検査後マクロMAPを表示して欠陥箇所確認ができます。
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基本情報
【特長】 1. ローダーとの組み合わせで全自動検査にも対応できます。 2. 高精度130万画素CCDカメラで6インチ全面のカラー画像ファイル機能。 3. 登録パターンと比較検査して欠陥画像ファイルとマクロMAP表示が可能。 4. AFはガラス、ミラー、パターン面まで試料を選びません。(全体物対応型） 5. リモート操作、画像制御機能があります。 6. 欠け、線幅不良、バリ、異物付着などの欠陥パターン検査ができます。 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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