高精度なXYZオートステージです。
ウエハー上のチップ素子欠陥を自動検査します。 顕微鏡カラーカメラとオートステージをシステム制御してチップ素子単位での欠陥識別検査を自動でします。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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基本情報
【特長】 1. 高精度XYZオートステージ 2. 座標管理 絶対/相対座標制御 パターン配置駆動 3. 素子マップ欠陥位置表示します。 4. 欠陥識別 正規画像登録との比較、チップ内5ヶ所重複設定可能。 5. アライメント機能 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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新技術の製造・開発をサポートする検査機の試作・自動機・オンライン機をあなたのアイデアとご希望に合わせ一緒に考え製作します。 受注製品のハード・光学系・ソフトの設計および製作メンテナンスからアフターサービスまで提供します。