被検物の表裏両面の像を顕微鏡の視野内で重ね合わせズレ量を比較観察し、メジャーリングシステムで測定できる顕微鏡。
被検物の表裏両面の像を顕微鏡の視野内で重ね合わせ、そのズレ量を比較観察し、 メジャーリングシステムで測定できる顕微鏡です。 対物レンズは観察倍率50倍から1000倍まで5種類で多種多様な試料に対応できます。 NIR可視/赤外透過タイプ。 カメラ位置合成装置もあります。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【特徴】 ○被検物の像を重ね合わせて観察できズレ量を測定できます。 ○被検物 の寸法測長が1μmでできます。 ○光路を切換えて表面、裏面のみの検査もできます。 ○上下対物レンズの光軸合わせができます。 ○対物レンズ交換はレボルバ式で様々な試料や上下別倍率での検査もできます。 ○各種ステージを準備しています。電動オートステージの準備もあります。 ○TV観察および画像ファイル、モニター内でのズレ量をマウス計測できます。 ●「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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