広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑えました。【アルバック／ULVAC】
ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』（特許申請中）を開発、製品化しました。 従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。 【ラインナップ】 ○SH2-1 標準仕様 ○SH2-2 シリアル通信仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○広領域測定 →大気圧から高真空領域（10＋5 ～ 5×10－8Pa）の測定が可能 （SPU・SAU同時使用の場合） ○異なる測定範囲の測定子が接続可能 →マルチイオンゲージ（特許申請中）の採用により用途に応じた 測定子の選択が可能 ○正確な大気圧測定 →大気圧確認が容易にかつ正確に可能（SAUを使用した場合） ○低環境負荷対応 →必要に応じた測定子のみの交換が可能なため ランニングコストの低減が可能 ○視認性の向上 →異常を確認できるLEDを搭載 ○メンテナンス性 →測定子の交換が容易 ○測定値出力信号 →圧力は0 ～ 10V出力（Log出力） ○制御出力信号 →セットポイント3点出力が可能（SH2-1） ○シリアル通信仕様 →RS232C/RS485通信が可能（SH2-2） ○適合規格 →CE標準対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造 装置の高真空領域のプロセス制御用に ○インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種 製造装置の高真空領域の到達圧力確認に ○高真空・超高真空装置の圧力測定に ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
